蔡司三坐标是一种集光、机、电、计算机为一体的高精度、高效率的多功能精密设备，如果维护及保养做得好，就能延长机器使用寿命，并使精度得到保障，故障率降低。蔡司三坐标测量机价格昂贵，做好日常维护保养和排除常见故障可以节省大量费用。

  以下是正确操作蔡司三坐标的方法：​
(1)三坐标测量机对温度、湿度要求比较高，开机前检查室内温度、湿度是否正常，若不正常应查明原因才能开机。若温度、湿度不正常，三坐标测量机可能报警而不能工作。
(2)检查外围设备是否完好，控制系统间是否连接正常。
(3)检查电源、气源是否正常。
(4)按顺序开机，接通气源，依次打开主电源、不间断电源，打开计算机，启动程序。启动后，检查各功能键是否正常。
(5)被测零件在放到工作台上检测之前，应先清洗去毛刺，防止在加工完成后零件表面残留的冷却液及加工残留物，影响测量机的测量精度及测尖使用寿命。测量时，应把零件放在方便检测的位置。安装更换测杆、探头前，应先按下保护键。测量中，要避免被测零件与主轴、测头之间产生干涉和碰撞。
(6)在工作过程中，测座在转动时(特别是带有加长杆的情况下)一定要远离零件，以避免碰撞。
(7)测量完毕，要注意做好清理工作，卸下被测工件，将测量机退回原位，按开机的逆顺序关机。将气源、过滤器放水，为下次工作做好准备。